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13651783167日本SMC氟樹脂氣管高純化學(xué)試劑
日本SMC氟樹脂氣管高純化學(xué)試劑
日本SMC氟樹脂氣管由含氟原子的單體通過均聚或共聚反應(yīng)而成,目前使用中的氟樹脂品種主要有聚四氟乙烯(PTFE)、聚三氟氯乙烯(PCTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)、聚氟乙烯(PVF)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、乙烯-三氟氯乙烯共聚物(ECTFE)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)和四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)。在濕電子化學(xué)品生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用的氟樹脂主要為PTFE和PFA。
PTFE樹脂占所有氟塑材料應(yīng)用的70%左右,由于其的分子結(jié)構(gòu),使材料具有優(yōu)異的耐腐蝕性,耐酸抗堿、抗大部分溶劑的特點。同時,PTFE具有耐低溫和相對高溫的特點,工作溫度范圍可達到-80℃~200℃。
PFA為四氟乙烯和全氟丙基乙烯基醚(FVE)的共聚物,分子結(jié)構(gòu)與PTFE十分接近,很多性能也非常接近。最大的不同是,PFA可以熔融加工、注塑、擠出等,所以PFA又稱為可熔性PTFE。
日本SMC氟樹脂氣管在與高純化學(xué)試劑接觸時,幾乎沒有不純物質(zhì)的溶出,且耐腐蝕性優(yōu)異,具備長期使用也能保持純度的優(yōu)異特性。在應(yīng)用于超凈高純化學(xué)試劑的氟樹脂中,尤其以PTFE與PFA最為廣泛,其耐腐蝕性更加優(yōu)異,耐蝕高純化學(xué)試劑的品種更加廣泛。
對于日本SMC氟樹脂氣管(PTFE和PFA)的指標(biāo)要求主要包括樹脂使用和制造的技術(shù)要求。
1.樹脂使用技術(shù)要求
①金屬離子的析出:SEMI3及以上的超凈高純化學(xué)品中,其產(chǎn)品在包裝儲運和使用過程中,單項金屬離子要求保持在ppb甚至ppt級的水平。因此,對預(yù)期接觸的所有材料必須也保持相應(yīng)技術(shù)水平,保證無過量金屬離子析出。
②顆粒數(shù)持續(xù)增長:若樹脂材料的在分子水平上出現(xiàn)過量的分子斷裂或者溶出,會導(dǎo)致在電路濕制程當(dāng)中引起大量產(chǎn)品污染和線路缺陷。
③小分子滲透:超凈高純化學(xué)試劑分子量一般相對較小,滲透性強。而樹脂在生產(chǎn)中容易出現(xiàn)大分子間隙,導(dǎo)致分子溢出,可能會對儲運設(shè)施外層金屬產(chǎn)生微量腐蝕,而微量的腐蝕污染足以導(dǎo)致產(chǎn)品失效。
日本SMC氟樹脂氣管技術(shù)要求:
①材質(zhì)的純凈度,保證不對產(chǎn)品造成二次污染;
②樹脂聚合中分子量分布盡可能的窄;
③聚合過程中支鏈的控制技術(shù);
④功能添加劑的選擇穩(wěn)定性和溢出控制。
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